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服務(wù)熱線： +86-15962120946
產(chǎn)品類(lèi)別
聯(lián)系方式

地址:蘇州高新區(qū)泰山路2號(hào)和楓產(chǎn)業(yè)園43幢

電話:+86-15962120946

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鍍膜機(jī)

 

產(chǎn)品參數(shù)
真空室 SUS304,Ф1300×1610mm(H)
工件架 Ф1130mm
工件架轉(zhuǎn)速 10rpm to 50rpm(可變)
光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A
光學(xué)膜厚監(jiān)控儀 波長(zhǎng)范圍：350nm to 1100nm 
反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì) XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源  電子槍2套 
離子源 17cmRF離子源
排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵
2個(gè)擴(kuò)散泵
Polycold（或2個(gè)冷凝泵）
性能
達(dá)到壓力 7.0×10-5Pa以下
排氣時(shí)間  15分
(大氣壓～1.3×10-3Pa)
基板溫度 最高：350℃
   
工作條件  
設(shè)備尺寸 約5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H) 
電源 3相,200v,50/60Hz, 約104KVA 
水流量 140升/分以上
空氣壓力 0.5MPa以上 
重量 約9000kg